目前全球電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開始走向穩(wěn)定的復(fù)蘇和增長,在汽車、5G通信、數(shù)據(jù)中心等關(guān)鍵市場,已經(jīng)出現(xiàn)了比較明顯的快速增長跡象。
用于半導(dǎo)體器件加工的硅片對純度有極高的要求,通常要達到99.999999999%。在半導(dǎo)體制造過程中,50%以上的工序直接與超純水接觸,需要化學(xué)處理的工序達80%以上,而化學(xué)處理后的超純水中的雜質(zhì)會進入硅片,如引入過多雜質(zhì),就會導(dǎo)致器件性能下降,影響產(chǎn)品性能因此,制備高質(zhì)量的超純水已成為大規(guī)模集成電路發(fā)展的重要前提。
傳統(tǒng)的超純水生產(chǎn)工藝采用陰離子樹脂交換設(shè)備,在使用一段時間后要經(jīng)常進行樹脂再生。隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟,萊特萊德超純水設(shè)備設(shè)計了可靠、成熟、自動化程度高的兩級RO+EDI+拋光混床水處理工藝,保證了處理后的超純水水質(zhì)符合要求,水的利用率高,運行可靠,經(jīng)濟合理,大大節(jié)省了人力成本和維護成本,與其他同類產(chǎn)品相比,具有較高的性價比和設(shè)備可靠性。
萊特萊德超純水設(shè)備可以連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水,不會因為樹脂再生而停止運行,設(shè)備內(nèi)部還安裝了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),這又從根本上保證了設(shè)備的出水質(zhì)量,具有較高的環(huán)境和經(jīng)濟效益,發(fā)展前景廣闊。
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