超純水是電子行業(yè)中常用的術(shù)語,但在其他行業(yè)諸如太陽能光伏,制藥,發(fā)電以及研究實(shí)驗(yàn)室等也被使用到。雖然每個(gè)行業(yè)都使用所謂的“超純水”,但質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)各不相同。即使在電子行業(yè)中,不同應(yīng)用諸如半導(dǎo)體、液晶面板及各種電子元器件,對(duì)超純水的要求也各不相同。其中半導(dǎo)體中代表了“超純水”使用的高等級(jí),這也是我們?cè)诖艘懻摰膬?nèi)容。
超純水制備主要包括以下三個(gè)階段,即初步吸附過濾階段、反滲透凈化階段和樹脂離子交換階段。其中,離子交換即是將水中的正離子與離子交換樹脂中的H+離子交換,水中的負(fù)離子與離子交換樹脂中的OH-離子交換,從而達(dá)到純化水的目的。具體說來主要有以下步驟:
1.原水:可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。
2.預(yù)處理系統(tǒng):原水箱、原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統(tǒng)。
3.雙級(jí)反滲透系統(tǒng):保安過濾器、RO高壓泵、反滲透系統(tǒng)。反滲透膜可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物,包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除,使后段離子交換柱的使用壽命大大延長。
4.EDI系統(tǒng):EDI的作用就是通過除去電解質(zhì)(包括弱電解質(zhì))的過程,將水的電阻率從0.05~1.0MΩ·cm提高到5~16MΩ·cm。
5.拋光樹脂:無化學(xué)析出的核子級(jí)樹脂,去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì),使水質(zhì)達(dá)到18MΩ·cm以上。
6.終端超濾:能有效地去除水中的微粒、膠體、細(xì)菌、熱源和有機(jī)物力。是整套系統(tǒng)最后的防火墻,確保產(chǎn)出的高純水不受二次污染。
就目前來看,EDI超純水設(shè)備行業(yè)內(nèi)競爭非常激烈,國內(nèi)就有很多制造超純水設(shè)備的廠家,在強(qiáng)大的超純水制備工藝的前提下,國產(chǎn)超純水設(shè)備受到了人們的青睞,國產(chǎn)超純水設(shè)備同樣能夠做到出水質(zhì)量的高純度。
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