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半導體超純水設備助力半導體產(chǎn)品質(zhì)量提升

2022-07-26

  2019年,自2009年大蕭條以來,全球半導體市場表現(xiàn)不佳。根據(jù)世界半導體貿(mào)易協(xié)會(WSTS)的數(shù)據(jù),2019年全球半導體市場銷售額為4100億美元,同比下降12.5%。全球半導體市場銷售的急劇下降主要是由于芯片供應商多年來收入的嚴重下降和2009年以來對半導體產(chǎn)品的需求。

  2020年,全球半導體市場將逐步復蘇。根據(jù)SIA發(fā)布的數(shù)據(jù),2020年1月至10月,全球半導體市場銷售額為3555億美元,同比增長4.6%。根據(jù)WSTS的預測,2020年全球半導體銷售額將達到4330億美元,同比增長5.9%。

  半導體工業(yè)對清潔水的電導率、離子含量、TOC、DO+和顆粒物的要求越來越嚴格。由于超純水對半導體的要求很高,半導體工業(yè)的超純水不同于其他工業(yè)。半導體工業(yè)對超純水的水質(zhì)要求極其嚴格。

  半導體工業(yè)是超純水應用的主要工業(yè)之一。在半導體加工過程中,需要用水處理。水質(zhì)要求高,不含離子雜質(zhì)。半導體超純水設備能有效去除水中雜質(zhì),保證設備出水水質(zhì)。萊特萊德采用雙反+EDI+Huncote系統(tǒng)組合工藝,出水量可達18.2MΩ.cm。

  反滲透系統(tǒng)采用反滲透原理,主要去除溶解鹽、有機物、膠體、聚合物等,降低水質(zhì)離子含量。EDI是一種結(jié)合離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)的純水制造技術(shù)。它不需要酸堿再生。這是一種新的脫鹽方法。EDI不需要回收化學品,運行成本低,EDI超純水系統(tǒng)自動化程度高,可連續(xù)運行,出水水質(zhì)良好穩(wěn)定,出水電阻率高≥15MΩ.cm。高純水處理系統(tǒng)的終端凈化器采用Huncote系統(tǒng)。水中離子含量可降低到ppb級,出水電阻率可達18.2MΩ.cm。為半導體帶來更好的性能優(yōu)勢。

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