超純水廣泛應(yīng)用于電子行業(yè),是電子行業(yè)常用的術(shù)語,廣泛應(yīng)用于太陽能光伏、發(fā)電等其他行業(yè)。雖然各個行業(yè)都在使用“超純水”,但其質(zhì)量和標(biāo)準(zhǔn)各不相同,其中半導(dǎo)體行業(yè)對超純水的要求相對較高。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水可用于晶圓沖洗、化學(xué)品稀釋、化學(xué)機械研磨、潔凈室環(huán)境加濕源等場合。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的質(zhì)量。隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和精細(xì)度的提高,超純水水質(zhì)的技術(shù)要求不斷提高。在超純水生產(chǎn)過程中,只要顆粒、電阻率、TOC和氣泡中的一個指標(biāo)略有差異,半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率就會降低。
萊特萊德可以為用戶提供更好的超純水質(zhì)量,有效解決超純水清洗芯片的問題,更好地提高芯片的良品率。該系統(tǒng)采用獨有的靶向離子交換系統(tǒng),去除超純水中難以處理的硼及其他離子,確保硼離子能夠穩(wěn)定≤5ppt。超純水設(shè)備可以連續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水,無需因樹脂再生而停機。
萊特萊德系統(tǒng)集成度高,雙操作系統(tǒng),更高系統(tǒng)穩(wěn)定性。日常保養(yǎng)維護簡單方便,設(shè)備耐用,壽命長??蓮V泛運用于電子芯片、集成電路及封裝、二極管、三極管、傳感器、電子級氫氟酸、電子級硫酸、電子級雙氧水、電子級氨水、高精度線路板、光伏、TFT玻璃基板、晶圓、石英管、超白玻璃、科研、航空航天、高精尖儀表、珠寶加工等領(lǐng)域。
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