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超純水設(shè)備出水符合芯片生產(chǎn)用水需求

2022-07-27

  芯片,英文全稱integrated circuit,簡稱IC,是指載有集成電路的半導體元件。芯片制造又稱晶圓制造,是在晶圓表面通過物理和化學工藝步驟形成器件,并用金屬線將器件連接起來形成集成電路的過程。芯片的需求主要來自科技的蓬勃發(fā)展,電子消費產(chǎn)品芯片的需求不低于汽車行業(yè)的需求。芯片的生產(chǎn)過程冗長,對所有的設(shè)備技術(shù)要求很嚴格,短時間解決芯片短缺問題仍然是一個難題,而如何提高芯片的成品率問題就顯得尤為重要。

  在芯片生產(chǎn)中,幾乎每一道工序都需要超純水清洗,工件與水直接接觸。一旦水質(zhì)不達標或水中含有雜質(zhì),就會降低設(shè)備性能,降低產(chǎn)量。確保超純水的質(zhì)量是我國自主研發(fā)芯片的重要基礎(chǔ)。傳統(tǒng)的超純水生產(chǎn)工藝采用陰離子樹脂交換設(shè)備。這種工藝的缺點是樹脂在使用一段時間后會頻繁地再生,增加成本。隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟,萊特萊德采用反滲透工藝,或反滲透后再采用EDI和拋光混床工藝生產(chǎn)超純水,出水電導率可達18.2MΩ,滿足芯片行業(yè)用水需求。

  近年來,隨著芯片制造工藝中對設(shè)計的需求更精確、更小,對純水水質(zhì)的要求也越來越嚴格。萊特萊德芯片超純水設(shè)備能在一定程度上去除水中的二氧化硅、顆粒、細菌、有機物和微生物,從而達到行業(yè)用水要求。此外,超純水設(shè)備配備了濃水置換專業(yè)技術(shù),有效防止膜系統(tǒng)的微生物污染。通過完善的工藝,提高系統(tǒng)回收率、降低能耗和運行成本,符合芯片生產(chǎn)用水需求。

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