新冠疫情以來,全球供應(yīng)鏈?zhǔn)茏?,半?dǎo)體產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期依賴全球分工,受沖擊更大。芯片價(jià)格快速上漲,整個(gè)產(chǎn)業(yè)命懸于半導(dǎo)體產(chǎn)能。
近年來,隨著國(guó)家政府對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、國(guó)家大型基金和國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造商的政策支持,中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)品替代進(jìn)程逐步加快。電子半導(dǎo)體元件集成度高,生產(chǎn)線窄,對(duì)水質(zhì)要求特別高。超純水已成為電子工業(yè)用水的標(biāo)準(zhǔn)。
傳統(tǒng)的超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂制備,但離子交換樹脂停止生產(chǎn)需要樹脂再生,高能耗也增加了勞動(dòng)力成本。經(jīng)過多年的實(shí)踐,結(jié)合膜分離技術(shù),利用反滲透結(jié)合EDI裝置制備超純水,出水電阻率可達(dá)18MΩ.cm(25℃),滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)用水的需求。同時(shí),設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),以確保設(shè)備的出水水質(zhì)。同時(shí),EDI處理裝置產(chǎn)生的廢水較少,不會(huì)污染環(huán)境,具有較高的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益,具有廣闊的發(fā)展前景。
超純水技術(shù)不斷完善,開啟了各行業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的新局面。許多企業(yè)在生產(chǎn)過程中對(duì)水質(zhì)純度有不同的要求,并得到了廣泛的應(yīng)用,如清洗設(shè)備用水、精密產(chǎn)品生產(chǎn)用水、檢測(cè)用水等。
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